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工業(yè)高純氫氟酸

產(chǎn)品名稱:工業(yè)高純氫氟酸
英文名稱:Hydrofluoric acid
CAS號:7664-39-3
分子式:HF
分子量:20.01
外觀:無色透明液體。
用途:主要應(yīng)用于太陽能光伏電池、液晶顯示器件、集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻,以及作為生產(chǎn)其他高純氟化物的原料等。
包裝:槽車或塑料桶包裝。
執(zhí)行標準:HG/T 4509-2013

項目 指標
EL級 UP級 UP-S級 UP-SS級
總酸度(以HF計)ω/% 49.0±0.5 49.0±0.5 49.0±0.5 49.0±0.5
氟硅酸(H2SiF6)ω/(mg/kg)≤ 50 50 30 30
氯化物(以Cl-計)ω/(mg/kg)≤ 5 5 0.2 0.05
硝酸鹽(以NO3-計)ω/(mg/kg)≤ 3 3 0.1 0.05
磷酸鹽(以PO43-計)ω/(mg/kg)≤ 1 1 0.1 0.05
硫酸鹽(以SO42-計)ω/(mg/kg)≤ 5 5 0.2 0.05
鋁(Al)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
砷(As)ω/(μg/kg)≤ 200 10 1 0.1
硼(B)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
鋇(Ba)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
鈣(Ca)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
鎘(Cd)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
鉻(Cr)ω/(μg/kg)≤ 20 10 1 0.1
銅(Cu)ω/(μg/kg)≤ 20 10 1 0.1
鐵(Fe)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
鉀(K)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
鋰(Li)ω/(μg/kg)≤ 20 10 1 0.1
鎂(Mg)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
錳(Mn)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
鈉(Na)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
鎳(Ni)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
鉛(Pb)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
鈦(Ti)ω/(μg/kg)≤ 100 10 1 0.1
銻(Sb)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
錫(Sn)ω/(μg/kg)≤ 20 10 1 0.1
鋅(Zn)ω/(μg/kg)≤ 50 10 1 0.1
顆粒 (≥1.0μm)/(個/mL)≤ 25      
(≥0.5μm)/(個/mL)≤   25 5  
(≥0.2μm)/(個/mL)≤       20
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