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產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品名稱:工業(yè)高純氫氟酸
英文名稱:Hydrofluoric acid
CAS號:7664-39-3
分子式:HF
分子量:20.01
外觀:無色透明液體。
用途:主要應(yīng)用于太陽能光伏電池、液晶顯示器件、集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻,以及作為生產(chǎn)其他高純氟化物的原料等。
包裝:槽車或塑料桶包裝。
執(zhí)行標準:HG/T 4509-2013
項目 | 指標 | ||||
EL級 | UP級 | UP-S級 | UP-SS級 | ||
總酸度(以HF計)ω/% | 49.0±0.5 | 49.0±0.5 | 49.0±0.5 | 49.0±0.5 | |
氟硅酸(H2SiF6)ω/(mg/kg)≤ | 50 | 50 | 30 | 30 | |
氯化物(以Cl-計)ω/(mg/kg)≤ | 5 | 5 | 0.2 | 0.05 | |
硝酸鹽(以NO3-計)ω/(mg/kg)≤ | 3 | 3 | 0.1 | 0.05 | |
磷酸鹽(以PO43-計)ω/(mg/kg)≤ | 1 | 1 | 0.1 | 0.05 | |
硫酸鹽(以SO42-計)ω/(mg/kg)≤ | 5 | 5 | 0.2 | 0.05 | |
鋁(Al)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
砷(As)ω/(μg/kg)≤ | 200 | 10 | 1 | 0.1 | |
硼(B)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
鋇(Ba)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
鈣(Ca)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
鎘(Cd)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
鉻(Cr)ω/(μg/kg)≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
銅(Cu)ω/(μg/kg)≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
鐵(Fe)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
鉀(K)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
鋰(Li)ω/(μg/kg)≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
鎂(Mg)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
錳(Mn)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
鈉(Na)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
鎳(Ni)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
鉛(Pb)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
鈦(Ti)ω/(μg/kg)≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
銻(Sb)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
錫(Sn)ω/(μg/kg)≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
鋅(Zn)ω/(μg/kg)≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
顆粒 | (≥1.0μm)/(個/mL)≤ | 25 | |||
(≥0.5μm)/(個/mL)≤ | 25 | 5 | |||
(≥0.2μm)/(個/mL)≤ | 20 |